統(tǒng):X/Y/Z三軸超高性能線性電機驅(qū)動掃描系統(tǒng),X/Y軸具有內(nèi)置磁力懸浮機構,在高速掃描過程中可隔絕振動的影響,并采用光學編碼接口的驅(qū)動方式,Z軸采用觸發(fā)接口的驅(qū)動方式掃描范圍:X-Y方向:最小0.2×0.2mm... 查看詳情>>
統(tǒng):X/Y/Z三軸超高性能線性電機驅(qū)動掃描系統(tǒng),X/Y軸具有內(nèi)置磁力懸浮機構,在高速掃描過程中可隔絕振動的影響,并采用光學編碼接口的驅(qū)動方式,Z軸采用觸發(fā)接口的驅(qū)動方式掃描范圍:X-Y方向:最小0.2×0.2mm,最... 查看詳情>>





